中國三氟化氮行業產量統計及市場現狀分析
三氟化氮是一種工業特種氣體,其主要用作推進劑(火箭)、氟化劑、電子氣、等離子干刻及用于摻雜、激光、光導纖維。
純凈的NF3氣體是一種無色無味的氣體，當混入一定量的雜質氣體后顏色發黃，同時會有發霉或刺激性氣味。NF3氣體不可燃，但能助燃。當溫度超過350℃時，三氟化氮氣體會緩慢分解，分解時產生強氧化性氟，因此，在高溫下它是一種強氧化劑。
三氟化氮是用作氟化氫－氟化氣高能化學激光器的氟源，在h2-O2與F2之間反應能的有效部分（約25％）可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術的發展和電子工業大規模的發展技術，它的需求量將日益增加。
三氟化氮是一種無色、無味、無毒且不可燃的氣體，在半導體加工、太陽能電池制造和液晶顯示器制造中得到廣泛應用，主要作為刻蝕劑、清洗劑、以及制備WF6的氟化劑。也在火箭發射中作為氧化劑以及推進劑。其在不同應用領域中應用量的比例如下：
資料來源：博思數據整理
博思數據發布的《2018-2023年中國三氟化氮(NF3)市場分析與投資前景研究報告》，國三氟化氮產業發展大體上分三個階段:最早是用于國防工業,主要是少量生產自用;其次是上世紀末隨著經濟的發展,三氟化氮產業化的研究迅猛發展,電子工業用三氟化氮相繼問世;第三個階段是近年在電子工業迅猛發展的推動下,國內三氟化氮的生產線相繼投產,其制造水平已與國外發達國家水平相當。國內主要生產企業及產能列于下表。
國內三氟化氮主要生產企業及產能 | ||
序號 | 國內公司(所在地) | 產能 |
1 | 中國船舶重工集團 718 所(邯鄲) | 450 |
2 | 中核紅華特種氣體公司(成都) | 100 |
3 | 三沙隆達天門農化公司(天門) | 60 |
4 | 黎明化工研究院(洛陽) | 100 |
5 | 臺灣臺塑集團(臺灣仁武) | 800 |
6 | 杜邦中國公司(常熟) | 450 |
| 國內合計 | 1960 |
資料來源：公開資料整理
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